На многих заводах требования к вакууму непостоянны.
Некоторые процессы требуют высокого вакуума, в то время как другим необходимо только поддерживать определенное состояние. Если оборудование постоянно работает на полной скорости, затраты на электроэнергию будут высокими, а износ оборудования ускорится.
Преимущество суховинтового вакуумного насоса с регулируемой частотой заключается в следующем:
Он не работает постоянно на полную мощность, а автоматически регулирует скорость в соответствии с реальными потребностями. Вакуумный насос работает по требованию, экономя электроэнергию и избегая ненужной работы.
Когда нагрузка на систему низкая, вакуумный насос автоматически замедляется, что снижает ненужное потребление энергии;
Если процесс требует большей производительности перекачки, он может быстро отреагировать, гарантируя, что производственный ритм не будет нарушен.
Этот метод управления переменной частотой не только значительно снижает затраты на электроэнергию, но и обеспечивает более плавную и тихую работу всей системы. В долгосрочной перспективе это также защищает само оборудование.
Сухой винтовой вакуумный насос с регулируемой частотой имеет интуитивно понятный интерфейс управления, позволяющий пользователям легко понять рабочее состояние и параметры с первого взгляда. Операторам не требуется специализированное и сложное обучение; им очень легко пользоваться, ежедневные настройки и мониторинг удобны.
Производство полупроводников и электроники: травление, CVD, PECVD и другие процессы.
Линии по производству фотоэлектрических и светодиодных ламп: нанесение тонких пленок, очистка и вакуумирование.
Химические процессы: очистка газа, вакуумная реакция, восстановление растворителя.
Нанесение покрытий, гальваническое покрытие и промышленное применение с высокой степенью чистоты.
1. Короткий путь прохождения газа и снижение загрязнения технологического газа
По сравнению с другими типами сухих вакуумных насосов винтовой вакуумный насос HANBELL имеет самый короткий путь прохождения газа в вакуумном насосе, что позволяет снизить загрязнение технологического газа. Винтовые роторы могут играть роль механизма передачи порошка, они работают хорошо, даже если внутри насоса много загрязнений.
2. Превосходная производительность насоса благодаря превосходному уплотняющему эффекту профиля ротора.
Запатентованный профиль ротора обеспечивает превосходное уплотнение ротора, поэтому между ними допускается больший зазор. Износ ротора насоса и заклинивание ротора из-за технологического загрязнения можно уменьшить за счет увеличения допустимого зазора.
3. Простая конструкция снижает вероятность неожиданной остановки насоса и облегчает процесс капитального ремонта.
Вакуум винтового типа состоит из пары винтовых роторов, и на разных стадиях насосной камеры требуются изолирующие пластины. Также можно избежать технологического загрязнения между роторами и изолирующими пластинами. Капитальный ремонт сухого насоса Hanbell намного проще, чем сухой насос другого типа, поэтому время ремонта короче и затраты меньше.
4. Микропроцессорный контроллер и программное обеспечение дистанционного управления могут защитить насос от нештатных ситуаций.
Микропроцессорный контроллер обеспечивает множество параметров насоса для мониторинга рабочего состояния. Насосом можно легко управлять и контролировать его с помощью панели управления. Программное обеспечение дистанционного управления может помочь клиенту удаленно контролировать состояние работы насоса.
1. Для охлаждения используется специальная охлаждающая жидкость, позволяющая избежать возможной коррозии корпуса охлаждающей водой.
2. Интерфейс мобильного управления удобен для работы; он отображает фактическое рабочее состояние вакуумного насоса и может отображаться как на китайском, так и на английском языке, что действительно удобно для клиентов.
3. Разъем питания военного класса, безопасный и удобный.
4. Азотный нагреватель, что делает вакуумный насос более подходящим для полупроводниковых процессов, таких как CVD и PECVD.
5. Сигнал управления и интерфейс сигнала связи, позволяющий удаленный мониторинг вакуумного насоса.
| Модель | Единица | ПС80 | ПС160 | ПС180 | |
| Скорость откачки (50 Гц/60 Гц) | л/мин | 1300/1600 | 2150/2600 | 2500/3000 | |
| м³/час | 80/96 | 140/156 | 150/180 | ||
| CFM | 48/57 | 82/92 | 88/105 | ||
| UIТимативное давление | Торр | ≤7,5*10⁻3 | |||
| мбар | ≤1*10-2 | ||||
| Па | ≤1 | ||||
| Мотор | Частота | ХЗ | 50/60 | ||
| Напряжение | V | 220~440 | |||
| Власть | л.с. | 4 | 6 | 6 | |
| КВт | 2.98 | 4.47 | 4.47 | ||
| Связь | Вход | NW50 | |||
| Аутлер | СЗ40 | ||||
| Охлаждение Вода |
Поток | л/мин | 3~7 | ||
| Давление | кг/см² | 2~4 | |||
| Температура | ℃ | 18~30 | |||
| Связь | RC3/8” | ||||
| Н2 | Давление | МПа | 0,15~0,2 | ||
| Разбавленный поток | л/мин | 0~60 | |||
| Уплотняющий поток | л/мин | 0~20 | |||
| Связь | Swagelok 1/4 дюйма | ||||
| РАЗМЕР.Д*Ш*В | мм | 814*380*663 | 895*405*678 | 920*425*650 | |
| Масса | кг | 280 | 300 | 320 | |
| Шум | дБ(А) | ≤68 | ≤70 | ≤70 | |
| Примечания: 1. Приведенные выше уровни шума относятся к моделям с двигателем с водяным охлаждением и без кожуха. 2. Установка шумоизоляционных устройств на вышеперечисленные модели позволяет дополнительно снизить шум на 3-4 децибела. | |||||
| Интерфейс | СЕМЬЯ73-0299 | ||||
| Скорость утечки насоса | Мбар.1/с | 1*10-5 | |||
| Рабочая температура | ℃ | 5~40 | |||
| Операция «Влажность» | относительной влажности | ниже 90% | |||
| Модель | Единица | ПС602 | ПС902 | ПС1302 | ПС1802 | |
| Скорость откачки (50 Гц/60 Гц) | л/мин | 8300/10000 | 12500/15000 | 17500/21000 | 25000/33300 | |
| м³/час | 500/600 | 750/900 | 1050/1260 | 1500/1800 | ||
| CFM | 294/353 | 441/530 | 618/742 | 883/1060 | ||
| UIТимативное давление | Торр | ≤7,5*10⁻⁴ | ||||
| мбар | ≤1*10⁻³ | |||||
| Па | ≤0,1 | |||||
| Мотор | Частота | ХЗ | 50/60 | |||
| Напряжение | V | 220~440 | ||||
| Власть | л.с. | 4+4 | 6+4 | 6+6 | 6+6 | |
| КВт | 2,98+2,98 | 4,47+2,98 | 4,47+4,47 | 4,47+4,47 | ||
| Связь | Вход | IS0100 (с болтовым креплением) | IS0160 (с болтовым креплением) | |||
| Аутлер | СЗ40 | |||||
| Охлаждение Вода |
Поток | л/мин | 3~7 | |||
| Давление | кг/см² | 2~4 | ||||
| Температура | ℃ | 15~30 | ||||
| Связь | RC3/8” | |||||
| Н2 | Давление | МПа | 0,15~0,2 | |||
| Разбавленный поток | л/мин | 0~60 | ||||
| Уплотняющий поток | л/мин | 0~20 | ||||
| Связь | Swagelok 1/4 дюйма | |||||
| РАЗМЕР.Д*Ш*В | мм | 814*380*865 | 895*380*915 | 920*430*957 | 920*430*1030 | |
| Масса | кг | 450 | 520 | 540 | 545 | |
| Шум | дБ(А) | ≤70 | ≤70 | ≤70 | ≤70 | |
| Примечания: 1. Приведенные выше уровни шума относятся к моделям с двигателем с водяным охлаждением и без кожуха. 2. Установка шумоизоляционных устройств на вышеперечисленные модели позволяет дополнительно снизить шум на 3-4 децибела. | ||||||
| Интерфейс | СЕМЬЯ73-0299 | |||||
| Рабочая температура | ℃ | 5~40 | ||||
| Операция «Влажность» | относительной влажности | Ниже 90% | ||||
Сухой винтовой вакуумный насос может быть с двигателем с водяным охлаждением (взрывозащищенный) или двигателем с воздушным охлаждением (взрывозащищенный), высокая скорость откачки при высоком давлении, низкое энергопотребление, низкий уровень шума.
TFT-ЖК-дисплей, сенсорная панель
Солнечная
Металлургическая система
Покрытие
Плазменные процессы
Процесс сушки
Биотехнологии/Фармацевтика
Химическая промышленность
| Модель | Единица | ПД120 | ПД200 | ПД300 | ПД500 | ПД650 | ПД800 | |
| Скорость откачки (50 Гц/60 Гц) | л/мин | 1667/2000 | 2830/3400 | 4167/5000 | 7000/8333 | 9030/10840 | 11011/13233 | |
| м³/час | 100/120 | 167/200 | 250/300 | 420/500 | 540/650 | 680/800 | ||
| CFM | 59/71 | 98/117 | 147/176 | 248/295 | 371/382 | 393/471 | ||
| UIТимативное давление | Торр | ≤7,5*10-3 | ||||||
| мбар | ≤1*10-2 | |||||||
| Па | ≤1 | |||||||
| Мотор | Частота | ХЗ | 50/60 | |||||
| Напряжение | V | 220~380~440 | ||||||
| Власть | л.с. | 4/5,3 | 6/7,5 | 8/10 | 15/20 | 25/30 | 25/30 | |
| КВт | 2,98/4 | 4,47/5,5 | 6,7/7,5 | 15.11. | 18,5/22 | 18,5/22 | ||
| Власть | КВт | 1,6/2 | 2,2/3 | 3,6/4,2 | 6/7 | 13.10. | 14.11. | |
| Связь | Вход | NW50 | NW50 | ИСО63 | ИСО80 | ISO100 | ISO100 | |
| Аутлер | СЗ40 | СЗ40 | СЗ40 | NW50 | ИСО63 | ИСО63 | ||
| Охлаждение Вода |
Связь | RC3/8” | RC1/2” | |||||
| Давление | кг/см² | 2,0~4,0 | ||||||
| Температура | ℃ | 3слм18℃~7слм28℃ | 6слм18℃~15слм28℃ | |||||
| Поток | л/мин | |||||||
| Н2 | Давление | кг/см² | 0,15~0,2 | |||||
| Разбавленный поток | л/мин | По процессу | ||||||
| Уплотняющий поток | л/мин | 10 | ||||||
| Связь | Swagelok 1/4 дюйма | |||||||
| РАЗМЕР.Д*Ш*В | мм | 814*380*663 | 920*430*674 | 1075*430*650 | 1346*538,4*886 | 1831*610*735 | 1831*610*735 | |
| Масса | кг | 280 | 345 | 390 | 550 | 1050 | 1050 | |
| Шум | дБ(А) | 68 | <70 | <70 | <75 | <80 | <80 | |
| Рабочая температура | ℃ | 5~40℃ | ||||||
| Операция «Влажность» | относительной влажности | Ниже 90% | ||||||

| Продукт | Единица | ПД300 | ПД500 | ПД1902 | ПД2152 | ПД3052 | ПД3652 |
| Сухой насос | м³/час | 330 | 500 | 330 | 500 | 500 | 500 |
| Бустерный насос | м³/час | 1800 | 1800 | 3000 | 3600 | ||
| Макс. Скорость откачки | м³/час | 330 | 500 | 1900 | 2100 | 3000 | 3600 |
| л/мин | 5500 | 8300 | 32000 | 35000 | 50000 | 60000 | |
| Предельное давление | Торр | 7,5х10-3 | 7,5х10-3 | 7,5х10-4 | 7,5х10-4 | 7,5х10-4 | 7,5х10-4 |
| Потребляемая мощность | кВт | 4.5 | 7.7 | 5.3 | 8.5 | 8.8 | 9.0 |
| Вход | ТАК | 63 | 80 | 160 | 160 | 200 | 200 |
| Выход | СЗ | 40 | 50 | 40 | 50 | 50 | 50 |
| Размер (мм) | L | 1055 | 1505 | 1055 | 1505 | 1505 | 1505 |
| W | 430 | 525 | 430 | 525 | 525 | 525 | |
| H | 560 | 515 | 1055 | 790 | 965 | 965 | |
| Масса | Кг | 350 | 500 | 560 | 730 | 1000 | 1020 |
1. Насосы PR имеют высококачественный безмасляный насосный механизм.
2. Отличная производительность насоса благодаря превосходному уплотняющему эффекту профиля ротора.
3. Работа при относительно низких давлениях обеспечивает высокую надежность.
4. Тихая работа без вибрации.
Вакуумное покрытие, вакуумная печь, термический процесс, фармацевтическая, химическая промышленность, Semlconductor, TFT/LCD/LED и солнечные элементы и т. д.
| Модель | Единица | ПР600 | ПР900 | ПР1300 | ПР1800 | ПР3000 | ПР7000 | |
| Скорость откачки (50 Гц/60 Гц) | л/мин | 13000 | 20000 | 26000 | 33000 | 63000 | 140000 | |
| м³/час | 800 | 1200 | 1600 | 2000 | 3800 | 8400 | ||
| CFM | 470 | 706 | 941 | 1176 | 2235 | 4947 | ||
| UIТимативное давление | Торр | ≤7,5*10⁴ | ||||||
| мбар | ≤1*10⁻³ | |||||||
| Па | ≤0,1 | |||||||
| Мотор | Частота | ХЗ | 50/60 | |||||
| Напряжение | V | 220~440 | ||||||
| Власть | л.с. | 4 | 4 | 6 | 6 | 8/20 | 20 | |
| КВт | 2.98 | 2.98 | 4.47 | 4.47 | 6,7/15 | 15 | ||
| Энергопотребление в режиме ожидания | КВт | 1.7 | ||||||
| Связь | Вход | IS0100 | ISO160 | ISO200 | 320 ИСО-К | |||
| Аутлер | IS0063 | ISO100 | IS0160 | 160 ИСО-К | ||||
| РАЗМЕР.Д*Ш*В |
мм |
721*322*233 |
778*360*250 |
848*360*272 |
778*360*272 |
1142*510*358 | 1490*669*490 | |
| Масса | кг | 160 | 210 |
220 |
225 |
570 | 880 | |
| Шум | дБ(А) |
≤60 |
≤60 |
≤62 |
≤62 |
≤65 |
≤70 |
|
| Примечания: 1. Приведенные выше уровни шума относятся к моделям с двигателем с водяным охлаждением и без кожуха. 2. Установка шумоизоляционных устройств на вышеперечисленные модели позволяет дополнительно снизить шум на 3-4 децибела. | ||||||||
| Скорость утечки насоса | Мбар.1/с | 1*10⁵ | ||||||
| Рабочая температура ℃ | ℃ | 5~40 | ||||||
| Операция Влажность относительной влажности | относительной влажности | Ниже 90% | ||||||
| Модель | Единица | ПМФ100 | ПМФ120 | ПМФ612 | |
| Скорость откачки | л/мин | 1666 | 1933 | 10000 | |
| м³/час | 100 | 116 | 600 | ||
| CFM | 59 | 69 | 353 | ||
| Предельное давление | Торр | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-3 | ≤7,5×10-4 | |
| мбар | ≤1×10-2 | ≤1×10-2 | ≤1×10-3 | ||
| Мотор | Напряжение | V | 220 В/380 В | 220 В/380 В | 220 В/380 В |
| Номинальная мощность | кВт | 2.2 | 2.2 | 2,2+2,2 | |
| Связь | Вход | NW50 | NW50 | ИСО80 | |
| Выход | СЗ25 | СЗ25 | СЗ40 | ||
| Охлаждающая вода Дим. |
Давление | кг/см² | 2,0-4,0(△P>1кг/см²) | 2,0-4,0(△P>1кг/см²) | 2,0-4,0(△P>1кг/см²) |
| Min.Flow | л/мин | 1 | 1 | 1 | |
| Температура | ℃ | 20℃ 2л/мин~30℃ 5л/мин |
20℃ 2лмин~30℃ 5л/мин |
20℃ 2л/мин~30℃ 5л/мин |
|
| Комекция | RC1/4" | RC1/4" | RC1/4" | ||
| Д×Ш×В | мм | 450×230×275 | 450×230×275 | 530×230×520 | |
| Масса | кг | 60 | 60 | 120 | |
| Носице | дБ | 60 | 60 | 60 | |
| Максимальная мощность давления | кВт | 0.39 | 0.44 | 0.5 | |
| Продукт | Единица | iPH100 | iPH200 | iPH610 | iPH1210 | iPH1210H | iPH1220 | iPH1810 | iPH1820 |
| Сухой насос | м³/ч | 120 | 200 | 120 | 120 | 120 | 200 | 120 | 200 |
| Бустер | м³/ч | 1 | I | 600 | 1200 | 1200 | 1200 | 1800 | 1800 |
| Макс. Скорость откачки | м³/ч | 120 | 200 | 700 | 1100 | 1100 | 1250 | 1800 | 1850 |
| Предельное давление | Торр | 7,5×10-3 | 7,5×10-3 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 | 7,5×10-4 |
| Мощность системы в UIt. | кВт | 2.1 | 3.5 | 2.6 | 3.0 | 3.2 | 4.5 | 3.9 | 4.7 |
| Вход | ИСО | 63 | 63 | 100 | 100 | 100 | 100 | 160 | 160 |
| Выход | СЗ | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 | 40 |
| Размер (мм) | L | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 | 830 |
| W | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | 400 | |
| H | 526 | 526 | 780 | 780 | 780 | 780 | 830 | 830 | |
| Масса | Кг | 280 | 300 | 450 | 455 | 460 | 470 | 515 | 530 |
Адрес
567 Songwei North Road, район Сунцзян, Шанхай, Китай
Тел.
Электронная почта